丹上正安 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】製造の高効率化を図りつつ、仮にシート状基材が薄い場合であっても、品質を担保する。【解決手段】シート状基材Zをプラズマ処理するプラズマ処理室Xと、プラズマ処理室X内にプラズマを発生されるための高周波アンテナ3と、シート状基材Zを上下方向に沿ってプラズマ処理室X内に送り出す送り出し機構10とを備えるようにした。

    プラズマ処理装置

  2. 【課題】成膜装置を高価なものにすることなく、成膜速度の向上を図り、製造効率を向上させる。【解決手段】基材1の少なくとも一方の面にガスバリヤ被膜2を形成するガスバリヤ被膜形成プロセスと、ガスバリヤ被膜形成プロセスの後、基材1に凹溝3を形成する凹溝形成プロセスとを備えるようにした。

    燃料電池用セパレータ製造方法及び成膜装置