丸山茂幸 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】コンタクタ、半導体装置の試験装置、及び半導体装置の製造方法において、試験の信頼性を高めること。【解決手段】第1の材料を含むコンタクタ母材1と、コンタクタ母材1の先端部1aのうち、半導体装置30の電極31との接触面1bにのみ選択的に形成された、第2の材料を含む導体膜10aとを有するコンタクタ9による。

    コンタクタ、半導体装置の試験装置、及び半導体装置の製造方法