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【課題】従来のLangmuir limitを超える輝度を得る方法では、平行ビームを得るためのレンズを電子銃の下流に余分に設ける必要があり、既設の装置に改造無しでは代替は出来なかった。従来の高輝度電子銃：LaB6, ショットキーカソード電子銃、あるいはcold Field emissionでは電子銃室を高真空にする必要があった。またショットキーカソード電子銃、あるいはc...
【課題】高輝度で小さいビーム径のビームサイズ測定の為の簡単な構造のセンサーと測定技術、及び、レンズ強度を変化させた場合の収束角の変化を算出する計算方法を提供する。【解決手段】荷電粒子源１−１、初段レンズ１−２、第２のレンズ１−６、及び，ビーム電流測定可能なセンサー１−１１を有するターゲット１−１０を有する荷電粒子線装置に於いて、荷電粒子線源１−１より放出される荷電粒子...
