中東孝浩 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】酸化ケイ素膜が形成された基板に対して熱処理を行わなくても、良好な絶縁性能を得ることができる酸化ケイ素膜の製造方法を提供することである。【解決手段】チャンバ内に設けられた接地電極の上に基板を載置し、基板の表面をクリーニングする(ステップS1)。基板の表面温度が70〜100℃となるように、基板の加熱を開始する(ステップS2)。テトラエトキシシランと、酸素及びオゾン...

    酸化ケイ素膜の製造方法