中村顕 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】基板のエッジ部などで得られた測定値の精度を改善できる研磨装置、及び、研磨方法を提供する。【解決手段】膜厚測定装置231と終点検出器241は、研磨テーブル320Aに設置された渦電流センサ210の出力に基づいて導電膜102の膜厚を監視する。渦電流センサ210の出力はインピーダンス成分を含み、2つの直交座標軸を有する座標系の各軸に、インピーダンス成分の抵抗成分とリア...

    研磨装置および研磨方法

  2. 【課題】事前に必要な膜厚の測定回数を従来よりも減らすことができる研磨装置、及び、キャリブレーション方法を提供する。【解決手段】渦電流センサ210の出力はインピーダンス成分を含む。膜厚測定装置231は、インピーダンス成分から膜厚情報を求める。膜厚情報と膜厚との間の非線形関数を用いて、膜厚情報から膜厚を求める。膜厚情報は、2つの直交座標軸を有する座標系の各軸に、インピーダ...

    研磨装置およびキャリブレーション方法