中本裕見 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】装置が揺動した場合でも、精度を保つことができ、揺動状態にあってもレーザ加工を実施できるので、生産性を向上させるようにした。【解決手段】ライン状の加工用レーザ光をマスクに照射すると共に、走査機構によってマスクを走査する照明光学系と、マスクを介された加工用レーザ光を被加工物に照射する投影光学系と、被加工物が載置されると共に、x−y方向に被加工物を移動させる被加工物...

    レーザ加工装置

  2. 【課題】複数の基板が収納された収納体を効率よく搬送することができる収納体搬送装置及びレーザ加工装置を提供する。【解決手段】複数の基板が収納された収納体を少なくとも第1の位置及び第2の位置に移動させる収納体搬送ユニットと、第1の位置において、収納体から取り出した基板を基板処理装置に搬送し、第2の位置において、処理後の基板を基板処理装置から収納体に対して格納する受け渡し装...

    収納体搬送装置及びレーザ加工装置