中嶋敏 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】充填部内に含まれる気泡を効果的に除去することができ、圧力検出特性の低下を抑制することのできる圧力センサーモジュール、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】圧力センサーモジュールは、一方の主面に開放する凹部を有し、前記凹部と重なる部分に受圧により撓み変形するダイアフラムを有する基板を備える圧力センサーと、内部空間と、前記内部空間に連通する開口と、を有し、前...

    圧力センサーモジュール、電子機器および移動体

  2. 【課題】高精度化を図ることのできる圧力センサーデバイス、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】本発明の圧力センサーデバイスは、ベースと、前記ベースに固定されている基板と、前記基板に接続されているボンディングワイヤーと、前記ボンディングワイヤーを介して前記基板に支持され、受圧により撓み変形するダイアフラムを有する圧力センサーと、前記ダイアフラムの受圧面上に配置され...

    圧力センサーデバイス、電子機器および移動体