中尾裕利 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】保持手段で基板を挟み込むようにしてタッチプレートにマスクプレートを保持させた後、マスクプレートと基板との間のギャップを計測することができるギャップ計測方法を提供する。【解決手段】基板SwとマスクプレートMpとを上下方向で重ね、基板上にタッチプレートTpを介して保持手段Maを配置してタッチプレートにマスクプレートを保持させる。計測器1を測定対象物Moの下方に離隔...

    ギャップ測定方法

  2. 【課題】並設方向に沿う磁石アレイによる吸着力を数値として定量的に確実に測定できる吸着力測定装置を提供する。【解決手段】上下方向に着磁された複数の磁石Mpを互いに隣接する当該磁石の下側の磁極が異なるように左右方向に並設してなる金属箔吸着用の磁石アレイMaに対して少なくともその左右方向に沿う吸着力を測定するための本発明の吸着力測定装置MMは、左右方向をX軸方向、同一平面内...

    吸着力測定装置及び吸着力測定方法

  3. 【課題】磁石アレイの吸引力によりマスクプレートを基板の下面に密着させる際にマスクプレートに対する基板の位置ずれを生じ難くでき、基板及びマスクプレートの損傷を招くことがないキャリアを提供する。【解決手段】基板Swの一方の面を開放した状態で当該基板を保持して真空チャンバ内の所定位置に搬送するキャリアは、基板の他方の面が密着する密着プレート1と、基板から密着プレートに向かう...

    真空処理装置

  4. 【課題】タッチプレートとマスクプレートとの間に基板を挟み込むようにして磁石アレイの吸引力によりマスクプレートを基板の下面に密着させるときに、パターンマスク部の透孔の周縁の浮き上がりを可及的に抑制でき、成膜された薄膜にマスクボケが発生することを防止できるマスクプレートを提供する。【解決手段】マスクプレートMPは、板厚方向に貫通する複数の透孔11が所定のパターンで開設され...

    マスクプレート及び成膜方法