中尾裕利 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】基板に欠けが生じず、ダストを発生させずに基板とマスクとを固定することが可能な運搬装置、及びそれを有する真空装置を提供する。【解決手段】マスク用枠体31に設けられた吸着部321の永久磁石部17が磁芯36の先端とヨーク部35の先端との間に形成する磁界を、電磁石部14に解除電流を流して誘起された磁界によって弱めた状態で、マスク用枠体31と基板用枠体41とを近接させ、...

    真空装置、運搬装置、アラインメント方法

  2. 【課題】基板に欠けが生じず、ダストを発生させずに基板とマスクとを固定する技術を提供する。【解決手段】マスク用枠体31に設けられた吸着部321の永久磁石部17が磁芯36の先端とヨーク部35の先端との間に形成する磁界を、電磁石部14に解除電流を流して誘起された磁界によって弱めた状態で、マスク用枠体31と基板用枠体41とを近接させ、マスク15と基板16との位置合わせを行う。...

    真空装置、運搬装置、アラインメント方法

  3. 【課題】蒸着対象に対して蒸着が行われている間において蒸着対象の温度における変動を抑えることを可能とした蒸着装置、および、蒸着方法を提供する。【解決手段】蒸着装置10は、蒸着材料Mを収容し、蒸着材料Mを加熱する蒸着源11と、蒸着対象Sを支持する支持部12と、蒸着源11と支持部12との間に位置し、開状態と閉状態とを有するシャッター13と、蒸着対象Sを加熱する加熱部14と、...

    蒸着装置、および、蒸着方法

  4. 技術 真空装置

    【課題・解決手段】基板の破損がなく短時間で真空雰囲気から大気圧雰囲気に変更できる真空装置を提供する。処理対象物10と給排気口9との間に第一の整流板5を配置し、給排気口9から吹き出される昇圧用ガスが搬送対象物10に衝突しないようにする。蓋部材16の壁面と搬送対象物10との間に第二の整流板6を設け、昇圧用ガスを、搬送対象物10の中の基板7よりも高い上側貫通孔13と、その基...

    真空装置