中光豊 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】コンタミネーションが発生せず、成膜速度の速いスパッタリング装置を提供する。【解決手段】 スパッタ空間19を取り囲むシールド板14と接地電位に接続された真空槽11の槽壁との間に配置されたアースブロック15に収容孔18を設け、その内部にシールド板14とアースブロック15とを接続するコイル部品5を配置する。シールド板14とアースブロック15の間には電気絶縁性材料1...

    スパッタリング装置

  2. 【課題】ターゲットと成膜対象物との間にコリメータを設けた場合でも、スパッタガスの導入停止後に自己放電が維持できるスパッタリング装置の提供。【解決手段】ターゲット21と成膜対象物Wとを対向配置する真空チャンバ1を有し、磁石ユニット4をターゲット21の中心を回転中心として回転駆動しターゲット21下方空間に漏洩磁場を発生する磁場発生手段3と、スパッタガス導入手段10と、ター...

    スパッタリング装置及びスパッタリング方法