並木恒久 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】内外圧差によって容易に変形が生じてしまう非耐圧性プラスチック容器であって、内面の実質上全体にわたってマイクロ波プラズマCVD法によって成膜された蒸着膜を有する容器を提供する。【解決手段】マイクロ波導入チャンバー内にプラスチック容器を配置し、該プラスチック容器内に反応ガスを導入しながら該チャンバー内にマイクロ波を導入することにより、マイクロ波プラズマCVD法によ...

    非耐圧性プラスチック容器