下村哲生 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】 本発明は、圧縮特性のバラツキが少なく、スラリー液の浸水による圧縮特性の変化も小さく、研磨層の繰り返し荷重に対する残留歪みによる影響を低減できる研磨パッド用クッション層の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 研磨パッド用クッション層の製造方法であって、エネルギー線硬化性樹脂を含む混合物をシート状に成型加工する工程、得られたシートの片面上にフォト...

    研磨パッド用クッション層の製造方法