下山勲 さんに関する公開一覧

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  1. 技術 流速計

    【課題】精度よく流速を計測できる流速計を提供する。【解決手段】流速計10は、ピトー管11と、差圧検出部12と、全圧孔シール部材13と、静圧孔シール部材14とを備える。ピトー管11は、全圧孔16と、静圧孔17とを有する。全圧孔16は、流体の流れに対して正対した方向に開口する。静圧孔17は、全圧孔16と接続し、流体の流れに対して正対しない方向に開口する。全圧孔シール部材1...

    流速計

  2. 【課題】高感度な検出が可能なMEMS構造を簡単なプロセスで形成することができる角速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】所定の検出軸まわりの角速度を検出する角速度センサ10あって、基板と、基板に対して振動可能に支持されており、検出軸と垂直な平面内で振動する振動部22と、一端が基板に支持された梁部30と、梁部30に設けられたピエゾ抵抗層31とを有するセンサ素子...

    角速度センサ

  3. 【課題】小型化と高感度化とを実現できる角加速度センサを提供する。【解決手段】所定の検出軸まわりの角加速度を検出する角加速度センサ10において、管状に形成され、検出軸を周回して両端が接続したチャネル部14と、チャネル部14を横断して設けられたカンチレバー部15と、チャネル部14の内部に充填され、カンチレバー部15により移動が制限された充填材17とを備え、充填材17の慣性...

    角加速度センサ

  4. 【課題】小型であり、かつ、赤外線をより高感度で検出することができる赤外線検出素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】赤外線検出素子10は、基板12と金属膜14とを備える。基板12は、赤外線IRを透過する。基板12の表面12aには凹部18が形成されている。金属膜14は、凹部18の内面18aを含む基板12の表面12aに設けられている。金属膜14は、基板12との界面で...

    赤外線検出素子およびその製造方法