上川裕二 さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

  1. 【課題】エッチング液の量を少なく抑える。【解決手段】エッチング方法は、エッチング処理部内にエッチング液を充てんする初期準備工程と、被処理体にエッチングを施すエッチング工程とを備えている。初期準備工程は、高Si濃度の新規エッチング液を用いた液供給工程を含み、エッチング工程は低Si濃度の新規エッチング液を用いた部分液交換工程を含む。

    エッチング方法、エッチング装置および記憶媒体