上原誠 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】コンパクトな構造で導電性を有する充填材の充填状況を検査できる帯状センサ及び充填検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】帯状センサ10は、帯状の基板20と、基板20の表面に配置され、長手方向Lに延びる第1櫛形電極31及び第2電極32と、第2電極32に対して、絶縁層を介して積層される第3櫛形電極とが備えられ、第1櫛形電極31及び第2電極32は、間隔を隔てて...

    帯状センサ及び充填検査装置

  2. 【課題】高い分解能を有する結像レンズを提供する。【解決手段】結像レンズ10は、物体側から順に、レトロフォーカス型レンズ群20と、ガリレオ型レンズ群30を有し、レトロフォーカス型レンズ群は物体側から順に物体側に凸面を向けたメニスカス形状のレンズを有する第1ユニット21と絞りを含む第2ユニット22とを有し、ガリレオ型レンズ群は物体側から順に正屈折力を有する正レンズユニット...

    結像レンズ

  3. 【課題】 半導体集積回路や液晶ディスプレイ等の各種デバイスの製造に使われる投影型露光機において、環境問題に対応し、省エネルギー性能に優れた光源装置、及びこの光源装置を備えた高投影型露光装置を提供する。【解決手段】 影型露光装置100に用いる光源装置1であって、平面発光型のLEDと、LEDに隣接して配置されたコレクターレンズと、コレクターレンズとの間隔を調整可能なコ...

    LED光源装置