三浦武之 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】シリコンウエハー上に銅配線を形成するにあたり、密着が良く微小な欠陥のない銅皮膜を与える電気めっき液、かかる電気めっき液を使用しためっき方法、およびかかるめっき操作により得られたシリコンウエハーの提供。【解決手段】銅イオンおよび銅イオンの錯化剤を含み、pHが4〜10の範囲である電気めっき液、かかる電気めっき液を使用しためっき方法、およびかかるめっき操作により得ら...

    シリコンウエハーへの電気めっき方法