丁炯鎭 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】クラスタ状態の作動ガスをイオン化すると共に加速させて薄膜試料の表面にイオンビームを照射して、試料の表面を平坦化する。【解決手段】作動ガスを供給する作動ガス供給装置10と、該供給される作動ガスをクラスタ状態に変化させる縮小拡張ノズル21と、これに連結され前記クラスタ状態の作動ガスを拡散する拡散チャンバー20と、これに連結され前記クラスタ状態の作動ガスの一部を選別...

    薄膜表面処理システム及び薄膜表面処理方法

  2. 【課題】合金化過程を経ることなく、発光効率が高い酸化亜鉛膜含有青色発光体を容易に製造することができる酸化亜鉛膜含有青色発光体の製造方法を提供する。【解決手段】酸化アルミニウムが1〜3重量%添加された酸化亜鉛をターゲットとし、RFマグネトロンスパッタリングにより前記酸化亜鉛の構成原子をスパッタ放出させて基板上に成膜した後、該基板を熱処理装置に入れて、水素雰囲気下、温度6...

    酸化亜鉛膜含有青色発光体の製造方法