ロバート・ケー・バー さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】多結晶半導体のテクスチャ化し、入射光反射率も低減されるエッチング組成物を提供する。【解決手段】1種以上のアンモニア誘動体、1種以上のフッ化物イオン源、1種以上の酸化剤源および7未満のpHを含み、アルカノールアミンが下式を有する組成物。(式中、Rは水素原子または1〜4個の炭素を有するアルカリ基であり、mは2〜4整数であり、nは1〜3の整数である。)。

    改良された多結晶テクスチャ化組成物および方法