レックスモンド,アクセル,セバスチアーン さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】基板テーブル、投影システム、液体閉じ込め構造及び熱測定システムを備えるリソグラフィ装置が開示される。【解決手段】基板テーブルは基板を支持する。投影システムは、パターン付き放射ビームを基板のターゲット部分に誘導する。液体閉じ込め構造は、投影システムと基板、基板テーブル、又はその両方との間にある空間に液浸液を少なくとも部分的に閉じ込める。熱測定システムは感熱性コー...

    リソグラフィ装置、メトロロジー装置及び当該装置の使用方法