マンハンスユールゲン さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】結像品質が更に改善されるような投影露光系のための結像光学系を開発すること。【解決手段】投影露光系のための結像光学系(9)は、少なくとも1つのアナモフィック結像光学要素(M1からM6)を有する。これは、結像されるレチクルの大きさを大きくする必要なく、かつ投影露光系のスループットの低下が発生することなく、第1の方向に大きい物体側開口数を有する像視野のこの第1の方向...

    結像光学系

  2. 【課題・解決手段】拡大結像光学ユニット(7)は、EUV投影露光に使用されるリソグラフィマスクを検査するように機能する。結像光学ユニット(7)は、倍率値を変更するために互いに対して変位させることができる少なくとも2つのミラー(M1からM4)を含む。更に別の態様により、拡大結像光学ユニット(7)は、少なくとも1つのミラー(M1からM4)を含み、少なくとも2つのミラー(M1...

    拡大結像光学ユニット及びそのような結像光学ユニットを有するEUVマスク検査系