マッティ・カイマックス さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】核種(species)を歪み半導体層の中に導入する方法を提供する。【解決手段】露出した歪み半導体層を含む第1領域を備えた基板を反応チャンバの中に投入するステップと、少なくとも露出した歪み半導体層の上に、気相堆積(VPD)によって等方性の第1核種含有層を形成するステップと、続いて、第1熱処理を実施し、これにより第1核種含有層から第1核種の少なくとも一部を歪み半導...

    半導体構造のドープ方法