ベ正龍 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】基板を支持するスピンヘッドを提供する。【解決手段】スピンヘッドは、回転可能なボディと、上部に突出し、かつ回転時ボディに置かれた基板の側部を支持するチャックピンとを有する。チャックピンは、上下方向にボディに提供された垂直ロッドを有する。基板が回転する時、垂直ロッドは基板から側方向に離隔するように位置される。支持ロッドは、流線型に提供された側面を有する。支持ロッド...

    スピンヘッド及び基板処理方法