バンゲルト・シュテファン さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

検索結果:1~9件を表示(9件中) 1/1ページ目

  1. 【課題・解決手段】基板を有するキャリアをルーティングするための真空処理システムが説明される。当該システムは、キャリア上の基板を処理するための第1の真空処理チャンバ、基板のための処理時間遅延をもたらす真空バッファチャンバ、基板上の材料層のマスク堆積のための第2の真空処理チャンバ、及びキャリアを第1の真空チャンバから真空バッファチャンバへとルーティングし、キャリアを真空バ...

    真空処理システム、及び処理システムを操作する方法

  2. 【課題・解決手段】真空チャンバ(101)内でキャリアを位置合わせするための装置(100)が、説明される。装置は、第1のキャリア(10)を第1の搬送経路に沿って第1の方向(X)に搬送するように構成された第1のキャリア搬送システム(120)と、位置合わせシステム(130)とを含む。位置合わせシステムは、第1のキャリア(10)を位置合わせシステム(130)に取り付けるための...

    真空チャンバ内でキャリアを位置合わせするための装置および真空システム、ならびにキャリアを位置合わせする方法

  3. 【課題・解決手段】真空チャンバ(101)内でのキャリア位置合わせのための装置(100)が、説明される。装置は、真空チャンバ(101)内で第1の方向(X)に延びる支持体(110)と、第1のキャリア(10)を真空チャンバ(101)内で第1の方向(X)に搬送するように構成された磁気浮上システム(120)であって、少なくとも1つの磁石ユニット(121)を備える磁気浮上システム...

    真空チャンバ内でキャリアをアライメントするための装置、真空システム、ならびに真空チャンバ内でキャリアをアライメントする方法

  4. 【課題・解決手段】マスク構成体を光学的に検査する方法が提供される。方法は、基準基板が設けられた検査チャンバ内でマスク構成体を受容することを含む。さらに、方法は、マスク構成体を基準基板に対して位置合わせすることを含む。加えて、方法は、マスク構成体の少なくとも一部分と基準基板の少なくとも一部分との間の相対的位置を、マスク構成体に関する情報データを取得するための光学的検査デ...

    マスク構成体をハンドリングする方法、マスク構成体の光学的検査用の基準基板、及び真空堆積システム

  5. 【課題・解決手段】基板の光学的検査のためのシステムが提供される。システムは、少なくとも第1の処理チャンバと第2の処理チャンバを備える。システムは、少なくとも、第1の処理チャンバから基板を受容し、当該基板を第2の処理チャンバへと移送するための、移送チャンバを備える。移送チャンバには、第1の処理チャンバ内で処理された基板の光学的検査を実施するための、検査デバイスが設けられている。

    基板の自動光学的検査のための装置及び方法

  6. 【課題・解決手段】本開示は基板処理方法を提供する。方法は、複数の堆積開口を有するマスク(21)を処理チャンバへ搬送すること、バックプレーンパターン(11)を有する基板を処理チャンバへ搬送すること、基板(10)をマスク(20)に対して位置合わせすること(780)、及び、複数の堆積開口(21)とバックプレーンパターン(11)との間のずれを光学検査デバイス(440)で少なく...

    基板処理方法、真空処装置、及び真空処理システム

  7. 【課題】基板上に蒸発した原料物質を堆積させるための、高められた堆積精度をもたらし、マスクによって提供されるシャドーイング効果を低減させ得る蒸発源の提供。【解決手段】複数のノズル23を有する1以上の分配管106であって、ノズル23が蒸発した原料物質のプルームを基板10へ向けるように構成された分配管106と、円周壁34によって取り囲まれた、プルーム318のための通路43と...

    蒸発した材料を堆積させるための蒸発源、及び蒸発した材料を堆積させるための方法

  8. 【課題】材料を基板に堆積させる装置において、シャドーイング効果を低下させるシールドデバイスを備えた蒸発源、及びシールドデバイスの洗浄方法の提供。【解決手段】蒸発した源材料を蒸発源(20)の一又は複数の出口(22)から基板(10)に向かって案内することによって、蒸発した源材料を基板(10)に堆積させる蒸着装置であって、蒸発した源材料の一部が、一又は複数の出口(22)と基...

    堆積装置を操作する方法、蒸発した源材料を基板に堆積する方法、及び堆積装置

  9. 【課題・解決手段】本開示によると、キャリアによって支持された基板上に1つ又は複数の層を堆積するための処理システム(100)が提供される。当該処理システムは、基板をロードするためのロードロックチャンバ(110)、基板を搬送するためのルーティングモジュール(410)、第1の真空スイングモジュール(131)、材料を堆積するための堆積源を含む処理モジュール(510)、サービス...

    堆積システム