バイヤーズエマニュエル さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】処理チャンバ内のガスの圧力を目標値に調整する。【解決手段】必要な必要流入量(Qi)をQi=Qo+(ΔP/Δt)Vに基き算出し処理チャンバ2内に流入させる。処理チャンバ2からの現在の予測流出量(Qo(n))を、吸引ポンプ3内の現在の圧力(P2)と吸引ポンプ3の固有の吸引量(Sp=f1(P2))からQo(n)=P2*f1(P2)に基き算出する際に、吸引ポンプ3内の...

    処理チャンバの圧力制御方法及び処理チャンバの圧力制御装置