トーマスエー.エヴァンズ さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】水素への敏感性を縮小することによって、集積回路の強誘電体キャパシタおよび強誘電体トランジスタの電気的なスイッチング性能を改良することにある。【解決手段】強誘電体キャパシタは、下部電極18と、上部電極22と、上部電極および下部電極の間に配置されると共に、上部電極のメタライゼーションを可能とするためのコンタクト孔34を除いて上部電極22を完全に被包するために延びる...

    強誘電体キャパシタの部分的にあるいは完全に被包された上部電極