デギュンターマルクス さんに関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】本発明は、少なくとも1つの光源(121、321、421、521)と光源によって発生された電磁放射線をフォトレジスト内に結合するための導光及び光混合要素(110、310、410、510)とを有するマイクロリソグラフィ処理でのウェーハ上に与えられたフォトレジストの後露光のためのマイクロリソグラフィ照明ユニットに関し、導光及び光混合要素は、第1の値をその最...

    マイクロリソグラフィ照明ユニット

  2. 【課題】照射光を案内するときの使い方に対する可能性が改善された導波路を提供する。【解決手段】光導波路1は、照射光2を案内するために役立つ。光導波路は、本体入口領域4と本体出口領域5との間で照射光を案内するための導波路本体3を有する。少なくとも1つの結合出力デバイス10が本体出口領域5に設けられる。結合出力デバイスによって、少なくとも1つの結合出力照射光部分ビーム11が...

    照射光を案内するための光導波路