デギュンターマルクス さんに関する公開一覧

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公開年

  1. 技術 マイクロリソグラフィ照明ユニット

    【課題・解決手段】本発明は、少なくとも１つの光源（１２１、３２１、４２１、５２１）と光源によって発生された電磁放射線をフォトレジスト内に結合するための導光及び光混合要素（１１０、３１０、４１０、５１０）とを有するマイクロリソグラフィ処理でのウェーハ上に与えられたフォトレジストの後露光のためのマイクロリソグラフィ照明ユニットに関し、導光及び光混合要素は、第１の値をその最...

    マイクロリソグラフィ照明ユニット

  2. 技術 照射光を案内するための光導波路

    【課題】照射光を案内するときの使い方に対する可能性が改善された導波路を提供する。【解決手段】光導波路１は、照射光２を案内するために役立つ。光導波路は、本体入口領域４と本体出口領域５との間で照射光を案内するための導波路本体３を有する。少なくとも１つの結合出力デバイス１０が本体出口領域５に設けられる。結合出力デバイスによって、少なくとも１つの結合出力照射光部分ビーム１１が...

    照射光を案内するための光導波路