デアバント、ベルント さんに関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】光学素子(5)の製造方法は、検査された光学素子(5)の副開口部のみを照明する測定光のビーム(13)を発生させる干渉計光学系(1)を用いて光学素子(5)を検査する工程を含む。干渉計光学系(1)は、ホログラムを備えている。副開口部測定の結果が組み合わされ、光学素子(5)の表面全体に関する測定結果が得られる。さらに、干渉計光学系(1)を較正する方法は、干渉...

    光学素子の製造方法