ダグラスバトラー さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

検索結果:1~1件を表示(1件中) 1/1ページ目

公開年
  1. 【目的】エッチングの危険性からトランジスタの各部を保護するとともに同時に小さい外形状であっても大きなコンタクトウインドーを形成可能にする。【構成】ソース/ドレイン電極の上にチタンシリサイドの領域を形成するとともに、ウインドーおよびゲート電極の上に窒化チタンの層を形成し;窒化チタン層の上に窒化シリコンの層を形成し;窒化シリコンの層をパターニングし;パターン化された窒化シ...

    集積回路の構造およびコンタクトウインドーの形成方法