スタンレイシー.ペリノ さんに関する公開一覧

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公開年
  1. 【課題】集積回路プロセスのための歩留り向上技術であって、従来の誘電体膜に吸収されて、CERDIPパッケージで受けるような相対的に高い温度に集積回路ダイが引き続いてさらされる場合に、望ましくない後続の水素の放出拡散をもたらすH2Oの汚染の影響を低減する。【解決手段】集積回路上のデバイスを少なくとも部分的に取り囲む、易吸水性の層間誘電体層(例えば、7.5%のリンをドープし...

    誘電体の望ましくない水分保持と引き続く水素の放出拡散の影響とを減少させる、集積回路のプロセスのための歩留り向上技術