ジーンケイ.バングスネス さんに関する公開一覧

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公開年
  1. 【課題】研磨剤粒子の移動により研磨効率を高め,研磨を均一に行い,研磨した面におけるスクラッチの発生を抑える研磨パッドを提供する。【解決手段】研磨粒子と分散剤とを備えたスラリーの存在のもとに基板を研磨する研磨パッド10である。この研磨パッドは,研磨面20とバッキング面とを有する第1の層で,ポリマーマトリックスコンポーネント16に混在する繊維質又は繊維コンポーネント14か...

    研磨剤粒子を含むスラリーにより基板を化学機械研磨するために使用される研磨パッド