ジョーンエム.ホワイト さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

  1. 【課題】ターゲット(124)のスパッタ面状に閉鎖プラズマループをそれぞれ形成する1つ以上のマグネトロン(112)を含むマグネトロンアセンブリを提供する。【解決手段】ターゲットは、その上で各帯状マグネトロンが転動(126)し、バネ機構(114)を介して共通の支持プレート(32)に部分的に支持されている複数の帯状ターゲットを含んでいてもよい。帯状マグネトロンは二段式褶曲マ...

    複数マグネトロン、特に二段型褶曲マグネトロンの連動走査