ジョージアルゴス,ジュニア さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】水素への敏感性を縮小することによって、集積回路の強誘電体キャパシタおよび強誘電体トランジスタの電気的なスイッチング性能を改良することにある。【解決手段】強誘電体キャパシタは、下部電極18と、上部電極22と、上部電極および下部電極の間に配置されると共に、上部電極のメタライゼーションを可能とするためのコンタクト孔34を除いて上部電極22を完全に被包するために延びる...

    強誘電体キャパシタの部分的にあるいは完全に被包された上部電極

  2. 【課題】集積回路プロセスのための歩留り向上技術であって、従来の誘電体膜に吸収されて、CERDIPパッケージで受けるような相対的に高い温度に集積回路ダイが引き続いてさらされる場合に、望ましくない後続の水素の放出拡散をもたらすH2Oの汚染の影響を低減する。【解決手段】集積回路上のデバイスを少なくとも部分的に取り囲む、易吸水性の層間誘電体層(例えば、7.5%のリンをドープし...

    誘電体の望ましくない水分保持と引き続く水素の放出拡散の影響とを減少させる、集積回路のプロセスのための歩留り向上技術