クリスチャン・デュサラ さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】高アスペクト比の開口部を形成する製造方法を提供する。【解決手段】trans−1,1,1,4,4,4−ヘキサフルオロ−2−ブテン、cis−1,1,1,4,4,4−ヘキサフルオロ−2−ブテン、ヘキサフルオロイソブテン、trans−1,1,2,2,3,4−ヘキサフルオロシクロブタン、1,1,2,2,3−ペンタフルオロシクロブタン、1,1,2,2−テトラフルオロシクロ...

    3D  NANDフラッシュメモリの製造方法

  2. 【課題】安定性が高く、融点が使用温度よりも低いことにより液体状態で使用することが可能であり、十分な反応性を有するランタノイド含有薄膜成膜用のランタノイド化合物および成膜プロセスを提供する。【解決手段】本発明に係るランタノイド化合物は、下記一般式(1)または一般式(2)で表される化合物である。Ln(R1xCp)2(A)y ・・・・・(1) Sm(R2xCp)2(A)...

    ランタノイド化合物、ランタノイド含有薄膜、および該ランタノイド化合物を用いたランタノイド含有薄膜の成膜方法

  3. 【課題】多孔質膜のエッチングにおいて、当該多孔質膜内で液体が維持される時間を増大させることを可能とする。【解決手段】一実施形態の方法は、(i)チャンバに第1のガスを供給する工程であり、第1のガスはCxFyOzの組成を有する分子からなるガスである、該工程と、(ii)第1のガスを供給する工程と同時に、又は、第1のガスを供給する工程の後に、多孔質膜をエッチングするために、当...

    多孔質膜をエッチングする方法