キャベニーロバートティー. さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】複数の基板保持位置に基板を搬送するためのロボットによる搬送装置において、隣接するツール間での基板搬送の間、制御された環境を維持する。【解決手段】搬送装置は、移送チャンバ内で基板を搬送するための移送ロボット130、駆動セクション200及び移送アームセクション210を備える。移送アームセクションは、駆動セクションに回転可能に連結されるアームリンク220及び移送アー...

    基板処理装置

  2. 【課題】極低温環境と、冷凍器の上部を介した極低温環境へのアクセスを可能にするポートとを含む冷凍器を備える極低温保存装置等を提供する。【解決手段】極低温保存装置は、冷凍器(120)と、冷凍器の内部に配置されたラックキャリアとを有する。冷凍器は、冷凍器を通る軸受(733)と駆動シャフト(231)とを含み、駆動シャフトは、冷凍器の内部のラックキャリアに結合され、且つモーター...

    極低温冷凍器