カール・ハインツシュースター さんに関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラー及びミラーを加工する方法に関する。本発明によるミラーは、光学有効面と、ミラー基板と、光学有効面に入射した投影露光装置の作動波長を有する電磁放射線を反射する多層系とを備え、多層系は、いずれの場合も分離層(15a、15b、15c、25a、25b)が間に配置された複数の反射層積層体(16a、16b、16c、...

    マイクロリソグラフィ投影露光システムのミラー及びミラーを加工する方法