エントレスマルティン さんに関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】投影露光装置のための照明光学アセンブリ(11)は、各場合に複数の変位可能な個々のミラー(31)によって形成された複数の第1のファセット(21i)を有する第1のファセット要素(6)と、複数の第2のファセット(25i)を有する第2のファセット要素(7)とを含む。ここで、第1のファセット(21i)の個々のミラー(31)の変位位置は、中間フォーカス(ZF)内...

    投影露光装置のための照明光学アセンブリ