ヴィルヘルム・ウルリッヒ さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】最適な寸法を有するコンパクトな設計の非常に高い解像度を達成するカタジオプトリック投影対物レンズを提供する。【解決手段】カタジオプトリック投影対物レンズは、物体フィールドを結像させて第1の中間実像を形成する第1の対物レンズ部分、第1の対物レンズ部分から到来する放射を用いて第2の中間実像を生じしめる第2の対物レンズ部分、第2の中間実像を像平面上に結像させる第3の対...

    中間像を有するカタジオプトリック投影対物レンズ

  2. 【課題】最適な寸法を有するコンパクトな設計の非常に高い解像度を達成するカタジオプトリック投影対物レンズを提供する。【解決手段】カタジオプトリック投影対物レンズは、物体フィールドを結像させて第1の中間実像を形成する第1の対物レンズ部分、第1の対物レンズ部分から到来する放射を用いて第2の中間実像を生じしめる第2の対物レンズ部分、第2の中間実像を像平面上に結像させる第3の対...

    中間像を有するカタジオプトリック投影対物レンズ