のぼり和宏 さんに関する公開一覧

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  1. 技術 ウエハ載置台の製法

    【課題・解決手段】本実施形態のウエハ載置台の製法は、（ａ）セラミック粉末とゲル化剤とを含むセラミックスラリーを金属メッシュ２２の網目部分２２ａに充填し、ゲル化剤を化学反応させてセラミックスラリーをゲル化させた後、脱脂、仮焼することによりセラミック充填メッシュ２０を作製する工程と、（ｂ）モールドキャスト成形したあと仮焼して得られた第１セラミック仮焼体３１と第２セラミック...

    ウエハ載置台の製法