のぼり和宏 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】本実施形態のウエハ載置台の製法は、(a)セラミック粉末とゲル化剤とを含むセラミックスラリーを金属メッシュ22の網目部分22aに充填し、ゲル化剤を化学反応させてセラミックスラリーをゲル化させた後、脱脂、仮焼することによりセラミック充填メッシュ20を作製する工程と、(b)モールドキャスト成形したあと仮焼して得られた第1セラミック仮焼体31と第2セラミック...

    ウエハ載置台の製法