伊藤晟 さんに関する公開一覧

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公開年
  1. 【課題】第1の撮像条件下の画像における欠陥座標を用いて第2の撮像条件下の画像における欠陥座標を算出できるようにして、欠陥観察のスループットを向上させる。【解決手段】荷電粒子顕微鏡と、この荷電粒子顕微鏡を制御する制御部と記憶部と演算部とを有するコントローラとを備える欠陥観察装置において、制御部で,荷電粒子顕微鏡を第1の条件で制御して試料の観察対象領域の第1の画像を取得し...

    欠陥観察装置