鄒金成 さんに関する公開一覧

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公開年
  1. 【課題】基板と薄膜との迅速な分離を実現することができ、生産能力を向上できるウェハ取り出し分離装置及び方法を提供する。【解決手段】駆動部材は分離部材に接続され、分離部材に吸着板が固定され、吸着板の一側に設けられた反転可能な吸着アーム70と吸着板90は、基板の下表面及び薄膜の上表面にそれぞれ吸着して、ウェハを吸着板と吸着アームとの間に挟持させることができ、かつ、駆動部材の...

    ウェハ取り出し分離装置及び方法