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【課題】ＬＥＯを、品質が安定し且つ簡便に製造する。【解決手段】微細穴光学素子の製造方法であって、上記複数の第１スリット穴が形成される各形成箇所について、当該第１スリット穴が延びる方向に焦点が線状に広がった線状ビームを、上記透明基板に照射して多光子吸収を生じさせることで当該箇所を改質する第１改質工程と、上記複数の第２スリット穴が形成される各形成箇所について、当該第２スリ...
