棚辺大輝 さんに関する公開一覧

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  1. 技術 ＤＬＣ層の成膜方法および金型の製造方法

    【課題】ウェット環境下において、ＤＬＣ層の表面に接する相手部材との摩擦係数の上昇を抑制することが可能なＤＬＣ層の成膜方法を提供する。【解決手段】炭素ターゲットを用いたアンバランスドマグネトロンスパッタリング法により基材２の表面にＤＬＣ層５を成膜するＤＬＣ層５の成膜方法において、成膜処理が行われるチャンバー内に供給されるアルゴンガスと炭化水素ガスの流量比（アルゴンガスの...

    ＤＬＣ層の成膜方法および金型の製造方法