棚辺大輝 さんに関する公開一覧

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公開年
  1. 【課題】ウェット環境下において、DLC層の表面に接する相手部材との摩擦係数の上昇を抑制することが可能なDLC層の成膜方法を提供する。【解決手段】炭素ターゲットを用いたアンバランスドマグネトロンスパッタリング法により基材2の表面にDLC層5を成膜するDLC層5の成膜方法において、成膜処理が行われるチャンバー内に供給されるアルゴンガスと炭化水素ガスの流量比(アルゴンガスの...

    DLC層の成膜方法および金型の製造方法