ニーンハイス、ハン-クワン さんに関する公開一覧

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公開年
  1. 【課題】広範囲のサイズ、材料、移動速度および入射角の汚染粒子が粒子の影響を受けやすい環境に到達する可能性を低減するためのデザインを提供する。【解決手段】本開示のある態様によれば、第1チャンバと、第2チャンバと、第1表面を有する第1構造と、第2構造とを備える対象物ステージが提供される。第2構造は、第2チャンバ内の対象物を支持するよう構成され、第1構造に対して可動である。...

    粒子トラップおよび粒子抑制用バリア