ニーンハイス、ハン－クワン さんに関する公開一覧

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  1. 技術 粒子トラップおよび粒子抑制用バリア

    【課題】広範囲のサイズ、材料、移動速度および入射角の汚染粒子が粒子の影響を受けやすい環境に到達する可能性を低減するためのデザインを提供する。【解決手段】本開示のある態様によれば、第１チャンバと、第２チャンバと、第１表面を有する第１構造と、第２構造とを備える対象物ステージが提供される。第２構造は、第２チャンバ内の対象物を支持するよう構成され、第１構造に対して可動である。...

    粒子トラップおよび粒子抑制用バリア