亀石浩太 さんに関する公開一覧

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公開年
  1. 技術 検査装置

    【課題】検査精度の向上、及び、検査時間の短縮を実現する検査装置を提供する。【解決手段】一つの実施形態の検査装置は、照射部と撮像部と可動機構と制御部とを備える。照射部は、検査対象物200に光を照射する。撮像部は、前記検査対象物を、レンズを介して撮像する。可動機構は、前記検査対象物の試料面101、前記レンズの主面102、及び、前記撮像部の撮像面103がシャインプルーフの原...

    検査装置

  2. 【課題】一つの実施形態は、欠陥の検査精度を向上できる欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び欠陥検査プログラムを提供することを目的とする。【解決手段】一つの実施形態によれば、欠陥検査装置において、コントローラは、第1の比較処理で一致せず第2の比較処理で一致する第1のショット領域内の第1の実パターンを取得する。コントローラは、第1の実パターンに対応する設計パターンと同じ設計パタ...

    欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び欠陥検査プログラム