クリーンルーム に関する公開一覧

クリーンルーム」に該当した技術の詳細情報一覧です。あらゆる文献や技術を元に、価値のある「クリーンルーム」の詳細情報や、「クリーンルーム」を活用可能な分野・領域の探索など、目的にあった情報を見つける事ができます。 「クリーンルーム」の意味・用法はこちら

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  1. 【課題】スッキリ感が増強した浸漬酒およびアルコール飲料の製造方法、ならびに、浸漬酒およびアルコール飲料の香味向上方法を提供することを課題とする。【解決手段】本発明に係る浸漬酒の製造方法は、抽出溶媒中において抽出原料である果実を粉砕する粉砕工程と、前記粉砕工程の後、(1)抽出溶媒中の抽出原料から撹拌しながら抽出物を抽出する撹拌抽出、(2)アルコール度数が75%以上の抽出...

  2. 【課題】ホップを使用しなくてもビールらしい香味を有するビールテイスト飲料を提供すること。【解決手段】植物由来エキスを含有し、当該植物由来エキスがビワ葉エキス及びオリーブ葉エキスからなる群より選択される少なくとも1種である、ビールテイスト飲料。

  3. 技術 滅菌装置

    【課題】缶体内に蒸気を供給する供給管および当該供給管を缶体に接続するソケットを備えた滅菌装置において、供給管内に生じたドレンおよびドレン溜りを除去すると共にソケットにおけるドレンの滞留を防止し、さらにはソケットのひび割れを防止することができる滅菌装置を提供する。【解決手段】本発明に係る滅菌装置10は、被滅菌物を収容して滅菌が行われる密閉容器である缶体12と、前記缶体1...

    滅菌装置

  4. 【課題】やさしい味わいのアルコール飲料、アルコール飲料の製造方法、アルコール飲料の香味改善方法を提供することを課題とする。【解決手段】本発明に係るアルコール飲料は、アルコール度数が3.0%以上4.0%未満であり、果実酢とナトリウムとを含有し、前記果実酢の含有量をAw/v%とし、前記ナトリウムの含有量をBmg/100mLとした場合に、B/Aが1.0〜30.0である。本発...

  5. 【課題】異なる種類の基板処理装置で同じ基板処理を行う場合に、レシピを、異なる種類の基板処理装置用のレシピへと簡便に変換するための技術を提供する。【解決手段】このレシピ変換方法は、第1基板処理装置における基板処理手順を示す第1基板処理レシピを、第2基板処理装置における基板処理手順を示す第2基板処理レシピへと変換するためのレシピ変換方法であって、第1基板処理レシピにおける...

    レシピ変換方法、レシピ変換プログラム、レシピ変換装置および基板処理システム

  6. 【課題】稼働率を低下させずに、ウェーハ処理装置のファクトリーインターフェースの内部圧力と外部圧力の差圧を一定範囲内に制御でき、ファクトリーインターフェース内のパーティクルレベルを低減できる装置又は方法を提供する。【解決手段】ウェーハ処理装置のファクトリーインターフェースとして構成されたFI装置2は、給気ブロワー15と、これを制御するブロワーコントローラ17と、FI装置...

    給排気制御装置、ウェーハ処理装置、ウェーハ処理方法、圧力制御装置、及び圧力制御方法

  7. 【課題】駆動素子を収容する空間の圧力変動を抑制しつつ、駆動素子を湿気から保護する。【解決手段】液体が充填される圧力室の圧力を変動させてノズルから液体を吐出させる駆動素子を備える液体吐出ヘッドと、複数の前記液体吐出ヘッドを固定する固定プレートと、前記固定プレートに固定され、複数の前記液体吐出ヘッドを囲むユニット空間を形成するユニットカバー部材と、前記ユニット空間内に配置...

    液体吐出ヘッドユニットおよび液体吐出装置

  8. 【課題】処理レシピの内容を視覚的に容易に把握できるレシピ表示装置、レシピ表示方法、およびレシピ表示プログラムを提供する。【解決手段】レシピ表示装置は、レシピ記憶部71と、画像表示部72と、内容反映部73とを備える。レシピ記憶部71は、処理レシピの内容が記述されたレシピファイルRを記憶する。画像表示部72は、処理レシピ中の複数の設定項目に対応する複数の画像を、ディスプレ...

    レシピ表示装置、レシピ表示方法、およびレシピ表示プログラム

  9. 【課題】圧力変動による焦点位置のずれを補正する。【解決手段】描画装置の描画ヘッド31は、光源32と、光変調デバイス341と、投影光学系35とを備える。光変調デバイス341には、光源32からの光が導かれる。投影光学系35は、光変調デバイス341にて変調された光をステージ21へと導く。投影光学系35は、対物レンズ群352と、焦点レンズ群351と、焦点調節機構353とを備え...

    描画装置および描画方法

  10. 【課題】回収された硫酸含有液に基づいて作成されたSPMを用いて基板からレジストを効率良く除去できる基板処理装置および基板処理方法を提供する。【解決手段】基板処理装置は、スピンチャック108と、吐出口13aを有するSPMノズル13と、スピンチャック108に保持されている基板Wに供給され当該基板Wから排出されたSPMを回収し、回収したSPMに基づいて硫酸含有液を作成し、作...

    基板処理装置および基板処理方法

  11. 【課題】基板処理装置が基板の処理を行っていない状態で、ノズルから処理液が垂れ落ちることを抑制できる基板処理装置、及び基板処理方法を提供する。【解決手段】基板処理装置100は、送液配管41と、供給配管43と、戻り配管44と、調整バルブ47と、制御部3とを備える。制御部3は、調整バルブ47の開度を第1の開度、及び第2の開度のうちのいずれかの開度に切り換え可能である。第1の...

    基板処理装置、及び基板処理方法

  12. 【課題】基板の酸化を抑制する。【解決手段】基板処理装置1の載置ユニット40は、処理ブロック20とインデクサブロック10との接続部に設けられる。載置ユニット40は、インデクサブロック10からセンターロボット22へと渡される未処理の基板9を保持する。また、載置ユニット40は、センターロボット22からインデクサブロック10へと渡される処理済みの基板9を保持する。第1遮蔽部5...

    基板処理装置および基板処理方法

  13. 【課題】排気管における圧力損失を低減するとともに、基板処理装置のフットプリントを小さくする。【解決手段】基板処理装置1では、上下方向に配列される複数の処理部31よりも上方に、複数の集合管61a〜61cが配置される。複数の集合管61a〜61cは、複数の流体区分にそれぞれ対応する。また、複数の処理部31から上方に向かうとともに、複数の処理部31からの排気がそれぞれ流入する...

    基板処理装置

  14. 【課題】処理室内の汚染物質の発生を防止し、ガラス板の品質向上を図る。【解決手段】処理室5内で処理装置を用いてガラス板Gに処理を施す処理工程を含むガラス板の製造方法であって、処理室5内に捕集体11を配置し、処理室5内の汚染物質を捕集体11の表面に付着させて捕集する捕集工程を備えている。

    ガラス板の製造方法

  15. 【課題】小型化が可能なガス検出装置を提供する。【解決手段】ガス検出装置100は、第1の層1と、所定の方向(z軸方向)において第1の層1と対向して配置される第2の層2と、を備え、第1の層1は、光を出射する発光部と、導波路を通った光を受光する受光部と、を有し、第2の層2は、所定の方向(z軸方向)において発光部と対向する導波路の光入力部と、所定の方向(z軸方向)において受光...

    ガス検出装置

  16. 【課題】接触の終わりの段階における接触力と分離力が湿潤剤、そして特に、湿度の影響を受けないような高クオリティーファクターの計時器機構を提供する。【解決手段】高クオリティーファクターの共振器又はエスケープ機構のための微細加工可能な材料によって作られた部品1である。この部品のコア2には、微細加工可能な材料によって作られていること及び/又は酸化物層3で被覆されていることの特...

    高クオリティーファクターの共振器のための微細加工可能な材料によって作られた部品

  17. 【課題】短時間に簡単に、かつ精度よくウェアラブル端末のユーザの行動を認識し、認識結果に応じてユーザを支援する内容を表示するシステム及び方法を提供すること。【解決手段】実施形態によれば、システムは、頭部に装着され得て、ユーザの視線上に位置する表示部を具備するウェアラブル端末と、ウェアラブル端末のユーザの行動を検出する第1検出手段と、ウェアラブル端末のユーザが使用する装置...

    ウェアラブル端末、システム及び表示方法

  18. 【課題】輸送時における磨耗粉の発生が低減されたフィルムリール梱包体を提供する。【解決手段】円筒形状のコアとコアに巻回されたフィルムとからなるフィルム巻回体と、フィルム巻回体を内部に含むようにフィルム巻回体を覆う外装チューブと、コアの軸方向の両端にそれぞれ配置されてフィルム巻回体を保持する保持部材と、を有するフィルムリール梱包体において、保持部材は、板状部と、板状部から...

    フィルムリール梱包体及びフィルムリール集合梱包体

  19. 【課題】本発明の課題は、U字屈曲用途において好適に使用され、ケーブルベア(登録商標)を用いずとも、自立性に優れる線条体保護部材を提供することにある。さらに、ケーブルベア(登録商標)を用いるよりU字屈曲部の最小曲率半径が小さく、軽量、低コストであるとともに、汎用性かつ形状保持性に優れる線条体保護部材を提供する。【解決手段】線条体を覆う線条体保護部材において、長手方向と直...

    線条体保護部材

  20. 【課題】不活性ガスの使用量を削減できる技術を提供する。【解決手段】本開示の一態様による基板処理装置は、基板を収容するキャリアを載置するキャリア保管棚と、前記キャリア保管棚に載置された前記キャリア内に不活性ガスを供給するガス供給部と、キャリア情報、基板情報のうち少なくともいずれかに基づいて、前記キャリア内に前記不活性ガスを供給するか否かを制御する制御部と、を有する。

    基板処理装置及びパージ方法

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