ガス流量 に関する公開一覧

ガス流量」に該当した技術の詳細情報一覧です。あらゆる文献や技術を元に、価値のある「ガス流量」の詳細情報や、「ガス流量」を活用可能な分野・領域の探索など、目的にあった情報を見つける事ができます。 「ガス流量」の意味・用法はこちら

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  1. 【課題】要求される微細な位相シフト膜パターンをウェットエッチングにより形成する際に、120%以内の少ないオーバーエッチングタイムであっても、位相シフト効果が良好な断面形状を有する位相シフト膜パターンが形成できる位相シフトマスクブランクを提供する。【解決手段】透明基板上に位相シフト膜を有する位相シフトマスクブランクであって、前記位相シフト膜は、遷移金属と、ケイ素と、酸素...

    位相シフトマスクブランク、位相シフトマスクの製造方法、及び表示装置の製造方法

  2. 【課題】燃焼ガスの使用制限中であっても、燃焼ガスと冷媒の熱交換を行う機器を利用可能とする。【解決手段】ガス消費制限により発電が停止しているものの、貯湯タンク32内の温水の温度がある程度確保されていることに着目し、その一部を床暖房装置70での熱交換の熱源として利用するようにした。熱交換器76では、主熱交換の停止中にポンプ76Aを駆動して、貯湯タンク配管84に、貯湯タンク...

    熱交換制御装置

  3. 【課題】燃料電池セルに供給する改質ガス中のアンモニア濃度を短時間に精度よく測定する。【解決手段】燃料電池セルと、天然ガスを改質する改質部と、改質部で改質された改質ガスを燃料電池セルに供給するアノードガス供給ラインとを有する燃料電池システムにおいて、アノードガス供給ラインから分岐して改質ガスを取り出す検出ガスラインと、検出ガスラインから供給される改質ガスを純水に溶解させ...

    アンモニアガス濃度検知装置および燃料電池システム

  4. 【課題】長時間にわたってセル性能を維持する。【解決手段】二酸化炭素電解装置は、カソードと、アノードと、カソード流路と、アノード流路と、セパレータとを備える電解セルと、カソード流路に二酸化炭素を供給する二酸化炭素供給部と、アノード流路に水を含む電解溶液を供給する溶液供給部と、アノード流路およびカソード流路の少なくとも一方から排出される水を含む液体の単位時間当たりの排出量...

    二酸化炭素電解装置および二酸化炭素電解方法

  5. 【課題】質量分析計を長期的に安定して運用するための技術を提供する。【解決手段】保守管理装置は、質量分析装置の保守作業間において注入可能な試料量に基づいて定められる保守間隔決定指標を記憶する記憶装置と、質量分析装置に注入された試料量に応じた情報を記憶装置に記憶させる分析部と、注入された試料量に応じた情報に基づいて、注入された試料量を積算し、積算された試料量及び保守間隔決...

    保守管理装置、保守管理方法および保守管理プログラム

  6. 【課題】外部振動等により所期性能が劣化しないような比例電磁弁を提供する。【解決手段】流体の通路11c及び通路の途中における弁座11dを画定するハウジング10、弁座よりも上流側においてハウジング内に配置され調圧作用を及ぼすダイヤフラム20、ダイヤフラムと連動すると共に弁座に対して着座及び離脱可能に移動する弁体30、弁体に係合して駆動力を及ぼすプランジャ40を含む電磁駆動...

    比例電磁弁

  7. 【課題】必要なプラズマ処理効果を維持しつつ、チャンバー壁部等へのプラズマダメージを低減することができるプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】プラズマ処理方法は、被処理基板をチャンバー内のマイクロ波プラズマ生成領域から離れた領域に配置することと、チャンバー内の圧力を1Torr以上にすることと、チャンバー内にマイクロ波プラズマ源からマイクロ波を導入...

    プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置

  8. 技術 給湯装置

    【課題】ユーザに与える違和感を抑制した上で、消費エネルギの抑制を図るエコモードを有する給湯装置を提供する。【解決手段】給湯器からの給湯温度は、給湯温度制御の目標温度Trに従って制御される。ユーザ操作によってエコモードが選択されると、目標温度Trが、ユーザによって入力された給湯設定温度Tr*よりも低く設定される期間が設けられる。当該エコモードが選択された給湯期間において...

    給湯装置

  9. 【課題】広い範囲のガス供給量において、簡易な構成で適切な流速のガスを吹き込むことができる焼却炉用ガス吹込装置を提供する。【解決手段】焼却炉2へガスを吹き込む焼却炉用ガス吹込装置1であって、一端が焼却炉2内に開口する吹込配管11と、吹込配管11に接続され、焼却炉2の状態に応じた供給量でガスを供給する供給配管12と、吹込配管11の管軸方向に複動可能に内挿された制御棒15と...

    焼却炉用ガス吹込装置、及び焼却炉用ガス吹込方法

  10. 【課題】効率よく、かつ高品質のメタルを製造することができる酸化鉱石の製錬方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、例えばニッケル酸化鉱石等の酸化鉱石と炭素質還元剤との混合物を還元することによって還元物であるフェロニッケル等のメタルを製造する製錬方法であって、混合物を還元炉に装入し、その混合物をバーナーにより加熱することによって酸化鉱石を還元し、溶融状態のメ...

    酸化鉱石の製錬方法

  11. 【課題】比較的単純な構成でありながら、ガス中に付与する水分量を安定して調整できるガスコンディショナを提供する。【解決手段】ガスコンディショナ60には、ガスが流通するガス流路61を形成するケース62と、ガス流路61に配置されるとともに透水性を有する樹脂部材80とが設けられる。樹脂部材80は、水が封入される密閉状の中空体で構成される。

    ガスコンディショナ

  12. 【課題】低温活性、高選択性、高被毒耐性、及び高耐久性を有する触媒及びその製造方法を提供する。【解決手段】シリコンカーバイド担体及びシリコンカーバイド担体に担持されている貴金属クラスターを有するクラスター担持触媒、及び当該触媒を製造する方法であって、貴金属ターゲットに対してスパッタリングを行うことにより、貴金属クラスターを発生させ、そして発生させた貴金属クラスターを、シ...

    クラスター担持触媒及びその製造方法

  13. 【課題】適切な機械的強度としつつ、バルク抵抗を有効に低減して、異常放電の発生を抑制することのできる焼結体、スパッタリングターゲットおよび、焼結体の製造方法を提供する。【解決手段】この発明の焼結体は、In、Ga及びZnを含有する酸化物の焼結体であって、0.317<In/(In+Ga+Zn)≦0.350、0.317<Ga/(In+Ga+Zn)≦0.350、および、0.31...

  14. 【課題】酸化物半導体中のチャネル形成領域における酸素欠損を低減し、電気特性の安定したまたは信頼性の高いトランジスタを含む半導体装置を提供する。【解決手段】ゲート電極上にゲート絶縁膜を形成し、ゲート電極上のゲート絶縁膜上に、酸化物半導体層を形成し、酸化物半導体層上に、スパッタリング法により酸化物層を形成して、酸化物半導体層と酸化物層とを含む酸化物積層膜を形成し、酸化物積...

    半導体装置

  15. 【課題】新規な構造の半導体装置あるいはその作製方法を提供することを課題とする。例えば、高電圧若しくは大電流で駆動されるトランジスタの信頼性向上を図ることを課題とする。【解決手段】トランジスタの信頼性向上を図るため、電界集中を緩和するバッファ層をドレイン電極層(またはソース電極層)と、酸化物半導体層との間に設け、バッファ層の端部をドレイン電極層(またはソース電極層)の側...

    半導体装置

  16. 【課題】二次電池のサイクル特性を向上できる正極活物質を提供する。【解決手段】層状岩塩型の結晶構造を有する、コバルト酸リチウム等の正極活物質の表層部に、2種の領域を設ける。内側の領域はチタン等の遷移金属を有する不定比化合物、外側の領域は酸化マグネシウム等の典型元素の化合物とする。2種の領域はどちらも岩塩型の結晶構造を有する。また内部の層状岩塩型の結晶構造と、表層部の2種...

    正極活物質層

  17. 【課題】金属系基材をムラ無く、かつ効率よくフレーム処理可能なフレーム処理装置、塗装金属板製造装置、および塗装金属板の製造方法を提供する。【解決手段】フレーム処理装置は、金属系基材を搬送するための搬送部と、搬送部により搬送される金属系基材に対して火炎を放射するためのバーナーヘッドと、バーナーヘッドに燃焼性ガスを供給するためのガス供給部と、を有する。バーナーヘッドは、金属...

    フレーム処理装置、塗装金属板の製造装置、および塗装金属板の製造方法

  18. 【課題】触媒通過後の排ガス中のNOx濃度に基づいての触媒劣化診断を高精度で行うことができる触媒劣化診断方法を提供する。【解決手段】触媒劣化診断方法は、触媒601を通過した排ガスの空燃比および窒素酸化物濃度を測定するものであってアンモニア干渉性を有するガスセンサ702を含むシステムのためのものである。ガスセンサ702によって最新で得られている空燃比が、理論空燃比よりも大...

    触媒劣化診断方法および触媒劣化診断システム

  19. 【課題】NH3発生の観点で、高精度で行うことができる触媒劣化診断方法を提供する。【解決手段】触媒劣化診断方法は、内燃機関500に接続された有段変速機400または無段変速機と、内燃機関500からの排ガスが導入される触媒601と、触媒601を通過した排ガスの成分に対応する検出値を出力するものであってアンモニアに対する感度を有するガスセンサ702と、を含むシステムのためのも...

    触媒劣化診断方法および触媒劣化診断システム

  20. 【課題】有効期限付きのプリペイド金額によるガス、水あるいは電気の使用料金の精算を適切に行うことのできるプリペイド管理端末を提供すること。【解決手段】プリペイド管理端末4は、ガス使用のためのプリペイド残量を書き込み可能であり、プリペイド制御部47と、有効期限が設定される複数のチャージボックス48とを有している。ガス使用料金がプリペイドされると、まず、チャージボックス48...

    プリペイド管理端末およびプリペイド機能を備えたガス管理システム

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