エッチ に関する公開一覧

エッチ」に該当した技術の詳細情報一覧です。あらゆる文献や技術を元に、価値のある「エッチ」の詳細情報や、「エッチ」を活用可能な分野・領域の探索など、目的にあった情報を見つける事ができます。 「エッチ」の意味・用法はこちら

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  1. 【課題】エッチングにおける断面形状の不具合をなくし、低反射率を実現する。【解決手段】位相シフトマスク10となる層を有するマスクブランクス10Bであって、透明基板11に積層されたクロムを含有する位相シフト層12と、モリブデンシリサイドを含有する反射防止層13と、を有し、反射防止層において、酸素含有率を設定して所定のプロファイルにしたがって反射率および消衰係数を設定する。

    マスクブランクスおよび位相シフトマスク、その製造方法

  2. 技術 表示装置

    【課題】発光素子の劣化を極力抑えるための構造を提供すると共に、各画素に必要とされる容量素子(コンデンサ)を十分に確保するための構造を提供する。【解決手段】トランジスタ上に、第1パッシベーション膜、第2の金属層、平坦化膜、バリア膜及び第3の金属層の順に積層され、平坦化膜に設けられた第1開口部の側面がバリア膜に覆われ、第1開口部の内側に第2開口部を有し、かつ、第3の金属層...

    表示装置

  3. 【課題】酸化物半導体膜を有する半導体装置において、電気特性の優れたトランジスタを有する半導体装置を提供する。【解決手段】トランジスタを有する半導体装置であって、トランジスタは、第1の電極と、第1の電極上の第1の絶縁膜と、第1の絶縁膜上の酸化物半導体膜と、酸化物半導体膜上の第2の絶縁膜と、第2の絶縁膜上の第2の電極と、を有し、酸化物半導体膜は、第1の酸化物半導体膜と、第...

    半導体装置

  4. 【課題】電気特性及び信頼性の高い薄膜トランジスタを有する半導体装置、及び該半導体装置を量産高く作製する方法を提案することを課題とする。【解決手段】半導体層としてIn、Ga、及びZnを含む酸化物半導体膜を用い、半導体層とソース電極層及びドレイン電極層との間に金属酸化物層でなるバッファ層が設けられた逆スタガ型(ボトムゲート構造)の薄膜トランジスタを含むことを要旨とする。ソ...

    半導体装置

  5. 技術 表示装置

    【課題】安定した電気特性を有する薄膜トランジスタを有する、信頼性のよい半導体装置を作製し、提供することを課題の一とする。【解決手段】チャネル形成領域を含む半導体層を酸化物半導体膜とする薄膜トランジスタを有する半導体装置の作製方法において、酸化物半導体層に接して保護膜となる酸化物絶縁膜を形成した後に、不純物である水分などを低減する加熱処理(脱水化または脱水素化のための加...

    表示装置

  6. 技術 発光装置

    【課題】薄膜トランジスタの製造工程における不特定な要因によって、しきい値電圧がマイナス側、或いはプラス側にシフトすることがある。0Vからシフトする値が大きい場合には、駆動電圧の増大を招き、結果として半導体装置の消費電力を増加させてしまう。【解決手段】酸化物半導体層を覆う第1の保護絶縁膜として平坦性のよい樹脂層を形成した後、樹脂層上に第2の保護絶縁膜としてスパッタ法また...

    発光装置

  7. 【課題】電気特性が良好な半導体装置及びその作製方法を提供する。【解決手段】絶縁層上に形成された酸化物半導体層と、酸化物半導体層の一部と重なるソース電極層及びドレイン電極層と、酸化物半導体層の一部と接するゲート絶縁層と、ゲート絶縁層上にゲート電極層と、を有するトランジスタにおいて、ソース電極層と酸化物半導体層、及びドレイン電極層と酸化物半導体層のそれぞれの間にn型の導電...

    半導体装置

  8. 【課題】外光を照明光源とする反射モードと、バックライトを用いる透過モードの両モードでの画像表示を可能とした液晶表示装置を提供することを課題の一とする。【解決手段】1つの画素において、液晶層を介して入射する光を反射して表示を行う領域(反射領域)と、バックライトからの光を透過して表示を行う領域(透過領域)とを設け、照明光源として、外光を用いる反射モードと、バックライトを用...

    液晶表示装置

  9. 【課題】半導体装置の開口率を向上させる。【解決手段】同一基板上に、駆動回路を有する駆動回路部と、画素を有する画素部と、を有し、前記画素は、透光性を有するゲート電極層と、ゲート絶縁層と、ゲート絶縁層の上に設けられ、透光性を有するソース電極層及びドレイン電極層と、ゲート絶縁層を挟んでゲート電極層の上に設けられ、ソース電極層の上面及び側面並びにドレイン電極層の上面及び側面を...

    半導体装置

  10. 【課題】占有面積が小さく、集積度の高い半導体装置を提供する。【解決手段】第1の導電層を形成し、第1の導電層上に第1の絶縁層を形成し、第1の絶縁層上に第1の導電層と同じ材料を用いて第2の導電層を形成し、第2の導電層上に第3の導電層を形成し、第3の導電層上に第2の絶縁層を形成し、第2の絶縁層上にレジストマスクを形成し、順次上層からエッチングし、第1の導電層の開口部の形成と...

    半導体装置

  11. 【課題】金属の溶着、積層による3次元造形による金属部品10の製造に使用したとき、造形した部品の熱変形,内部割れを抑制して均一な材質・金属組織や高靭性が得られる金属3Dプリンタ用の素材として好適で安価なオーステナイト系ステンレス鋼ワイヤを提供する。【解決手段】質量%で、C:0.1%以下、Si:4.0%以下、Mn:25.0%以下、S:0.0002〜0.4%、P:0.1%以...

    金属3Dプリンタによる溶着積層造形用の金属ワイヤ

  12. 【課題】ビアの解像性、めっき銅との接着強度及び絶縁信頼性に優れた感光性樹脂組成物、フォトビア形成用感光性樹脂組成物及び層間絶縁層用感光性樹脂組成物を提供すること。また、前記感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂フィルム及び層間絶縁層用感光性樹脂フィルムを提供すること、多層プリント配線板及び半導体パッケージを提供すること、並びに前記多層プリント配線板の製造方法を提供すること...

    感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、多層プリント配線板及び半導体パッケージ、並びに多層プリント配線板の製造方法

  13. 【課題】ビアの解像性、めっき銅との接着強度及び絶縁信頼性に優れる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物(但し、エポキシ基又はオキセタニル基を有するものを除く。)(B)エポキシ基又はオキセタニル基とエチレン性不飽和基とを有する化合物、及び(C)光重合開始剤、を含有する、感光性樹脂組成物である。

    感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、多層プリント配線板及び半導体パッケージ、並びに多層プリント配線板の製造方法

  14. 【課題】ビアの解像性、めっき銅との接着強度及び絶縁信頼性に優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、(B)アリル基含有ナジイミド化合物、及び(C)光重合開始剤を含有する、感光性樹脂組成物である。

    感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、多層プリント配線板及び半導体パッケージ、並びに多層プリント配線板の製造方法

  15. 【課題】ビアの解像性及び絶縁信頼性に優れ、ビア壁面の欠陥が少なくなる感光性樹脂組成物、フォトビア形成用感光性樹脂組成物及び層間絶縁層用感光性樹脂組成物を提供すること。また、前記感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂フィルム及び層間絶縁層用感光性樹脂フィルムを提供すること、多層プリント配線板及び半導体パッケージを提供すること、並びに前記多層プリント配線板の製造方法及び前記感...

    感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、多層プリント配線板及び半導体パッケージ、並びに多層プリント配線板の製造方法及び感光性樹脂組成物の製造方法

  16. 【課題】非粗化面の密着性、信頼性と伝送損失の低減とを高い水準で両立する表面処理銅箔を提供する。【解決手段】表面処理銅箔は、2つの主面のうち一方が粗化処理による粗化面1aであり他方が非粗化面1bである銅箔本体1と、銅箔本体1の非粗化面1b上に形成された防錆層10と、を備える。防錆層10は、金属亜鉛からなる金属亜鉛層11、亜鉛酸化物からなる亜鉛酸化物層12、亜鉛水酸化物か...

    表面処理銅箔、銅張積層板、及びプリント配線板

  17. 【課題】硬化時ないし硬化後に高温環境下に置かれてもアウトガスの発生を抑制でき、かつ解像性にも優れ、とりわけハレーションが生じにくく良好な開口形状が得られる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)カルボキシル基含有樹脂と、(B)光重合性モノマーと、(C)光重合開始剤と、(D)熱硬化性成分と、を含んでなる感光性樹脂組成物であって、前記(B)光重合性モノマーが(メタ)...

  18. 技術 表示装置

    【課題】開口率の高い表示装置又は素子の面積の大きい半導体装置を提供することを課題とする。【解決手段】表示装置は、平面視において曲がった形状の領域を有する半導体膜102と、前記半導体膜と電気的に接続された発光素子と、前記半導体膜の上方に設けられ、前記半導体膜と重なる領域を有する配線106と、を有する。

    表示装置

  19. 【課題】表示品位が良好かつ歩留りの高い可撓性表示装置を提供する。【解決手段】基板720から前記基板の上面側に設けられる素子層を剥離する線状ビーム照射装置であって、レーザ光610a,610bを出力するレーザ装置600と、レーザ光を伸張する光学系630と、伸張されたレーザ光610cを反射するミラー650と、反射されたレーザ光を縮小し、線状ビーム610dを形成するレンズ67...

    線状ビーム照射装置

  20. 【課題】酸化物半導体層を用いた、表示装置に代表される半導体装置において、画面サイズの大型化や高精細化に対応し、表示品質が良く、安定して動作する信頼性のよい半導体装置を提供することを課題の一つとする。【解決手段】引き回し距離の長い配線にCuを含む導電層を用いることで、配線抵抗の増大を抑える。また、Cuを含む導電層を、TFTのチャネル領域が形成される酸化物半導体層と重なら...

    半導体装置

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