弗素化 に関する公開一覧

弗素化」に該当した技術の詳細情報一覧です。あらゆる文献や技術を元に、価値のある「弗素化」の詳細情報や、「弗素化」を活用可能な分野・領域の探索など、目的にあった情報を見つける事ができます。 「弗素化」の意味・用法はこちら

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  1. 【課題】電子線あるいは極紫外線(EUV光)を使用する半導体素子の微細加工における性能向上技術の課題を解決することであり、高感度、高解像性、高ラインウィズスラフネス(LWR)性能を極めて高次元で同時に満足するパターン形成方法、感電子線性又は感極紫外線性樹脂組成物、及び、レジスト膜、並びに、これらを用いた電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイスを提供する。【解決手段】(...

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