DFB半導体レーザ に関する公開一覧

DFB半導体レーザ」に該当した技術の詳細情報一覧です。あらゆる文献や技術を元に、価値のある「DFB半導体レーザ」の詳細情報や、「DFB半導体レーザ」を活用可能な分野・領域の探索など、目的にあった情報を見つける事ができます。 「DFB半導体レーザ」の意味・用法はこちら

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  1. 【課題】基板を露光する途中での、基板の取り外しを前提とする基板保持部材の採用を可能にする露光装置を提供する。【解決手段】 基板P上に複数の区画領域(SA1、SA2等)を形成するに当たり、基板P上に区画領域を形成する度毎に、基板Pを該基板Pの面に平行な面内でステップ移動し、該ステップ移動の前後で、基板Pの同一の検出対象部(例えばエッジ)の位置情報を例えば複数のセンサ1...

    露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法

  2. 【課題】物体の物体載置部に対するロード又は物体載置部からのアンロードに際して物体載置部への振動等の影響を軽減し得る移動体装置を提供する。【解決手段】ステージ装置は、ウエハWを載置して移動可能なウエハステージWSTを含む。ウエハステージは、ウエハWを載置するウエハテーブルWTBと、ベース盤12に対し移動可能なスライダと、ウエハを下方から支持可能なウエハセンター支持部材と...

    移動体装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法

  3. 【課題】物体支持装置上の物体の交換を迅速に行う。【解決手段】 搬出対象の基板Paを支持する第1エア浮上ユニット69の+X側に、搬入対象の基板Pbを支持する第2エア浮上ユニット70が配置され、第2エア浮上ユニット70の下方に第3エア浮上ユニット75がθy方向に傾斜して配置されている。第1エア浮上ユニット69が第3エア浮上ユニット75に合わせてθy方向に傾斜されて、基板...

    物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送方法、及び露光方法

  4. 【課題】2つの基板ステージを有する液浸露光装置で、各基板ステージに接続されるケーブルの縺れを防止する。【解決手段】 制御装置が、ウエハステージWST1、WST2の駆動を制御して、ステージWST1、WST2の一方に対して他方が接近するように相対移動するとともに、ノズル部材に対する接近した両ステージの移動によって、液浸領域14は、投影光学系の下に維持されつつ一方のステー...

    露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法

  5. 【課題】SI−BH構造の半導体レーザであって、SI埋め込み層への電流リークを長期間、安定的に低減し、通電時により高い光出力を得ることが可能な半導体レーザを提供すること。【解決手段】メサストライプ構造の両側を半絶縁性InPで埋め込む構造の半導体レーザである。メサストライプ構造は、n型InP基板101の上部に、n型クラッド層102、n側SCH層103、活性層104、p側S...

    半導体レーザ

  6. 【解決手段】可撓性を有する長尺のシート基板Pを長尺方向に送る搬送部12と、シート基板Pに電子デバイスのパターンを形成する為の所定の処理を施す処理部14とを備えた基板処理装置10の性能をテストする基板処理装置10の性能確認方法は、搬送部12と処理部14とにシート基板Pが通された状態で、搬送部12による搬送方向に関して所定の長さを有する可撓性のテスト用シート基板TFを処理...

    基板処理装置の性能確認方法

  7. 【課題】感度関数を簡便に設計可能なフィードバック制御系を提供する。【解決手段】 フィードバック制御系において、制御部52により、駆動目標RとプレートステージPST(制御対象)のねじれφ(制御量)の計測結果との偏差eをゲイン倍し、得られた量e2をフィルタ523に通してその結果を操作量UとしてプレートステージPST(プレートステージ駆動系PSD)に出力する。これとともに...

    駆動システム及び駆動方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法

  8. 【課題】所望のパターン像を物体に好適に投影するように空間光変調器を制御する。【解決手段】制御装置は、パターンを物体に転写する露光装置に用いられ、それぞれの状態が変更可能な複数の光学要素を備える空間光変調器を制御する制御方法であって、第1領域14−1及び第2領域14−2内に位置する複数の前記光学要素を第1の状態に設定し、第1及び第2領域の間で第1及び第2領域と隣接する第...

    制御装置及び制御方法、露光装置及び露光方法、デバイス製造方法、データ生成方法、並びに、プログラム

  9. 【課題】光学要素の状態を推定して、光学要素の欠陥を検出する。【解決手段】検査装置は、光が入射可能な入射領域に配置された複数の光学要素を備える空間光変調器を検査する検査装置であって、入射領域のうちの少なくとも一部である対象領域に検査光を照射する照射装置と、対象領域への検査光の照射により発生する回折光を検出する検出器と、検出器の検出結果を用いて、少なくとも一つの光学要素の...

    検査装置及び検査方法、露光装置及び露光方法、並びに、デバイス製造方法

  10. 【課題】長期に渡ってステージの位置を高精度で計測する。【解決手段】制御装置は、ステージWST1に設けられる複数のヘッドのうちの少なくとも3つのヘッド601、601a、601bを含む第1ヘッド群611が、スケール部材のそれぞれ反射型格子RGが形成される4つの部分211、212、213、214のうち第1部分211と対向しつつステージWST1が移動されるようにステージWST...

    露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法

  11. 【課題】自重支持装置をガイドするためのガイド部材を薄型化、軽量化する。【解決手段】 基板ステージ装置20は、XY平面に沿って移動可能な微動ステージ60と、微動ステージをXY平面に平行な方向に誘導するXY2次元ステージ装置(Xビーム30、Xキャリッジ40)と、微動ステージと同期してXY平面に平行な方向に移動可能、且つ協働して微動ステージの自重を支持する複数の重量キャン...

    移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法

  12. 【課題】露光対象物を高速、高精度で位置制御でき、かつ小型、軽量のステージ装置を提供する。【解決手段】 基板支持部材がYステップ定盤上でスキャン方向に所定のストロークで移動することにより、その基板支持部材に保持された基板が、エア浮上装置に下方から支持された状態でスキャン方向に所定のストロークで移動する。また、エア浮上装置を有するYステップガイドは、基板支持部材と共にク...

    移動体装置及び露光装置

  13. 【課題・解決手段】本発明は、SOAを備えた半導体レーザに対し、APCのフィードバックを確立した光送信器及び光強度モニタ方法を提供する。DFBレーザと、DFBレーザに接続されたEA変調器と、EA変調器に接続されたSOAとを含むSOA集積EA−DFBを備えた光送信器において、受光器部(404)を、SOA部(403)の出力端側前方に配置した構造になっている。受光器部(404...

    光送信器及び光強度モニタ方法

  14. 【課題】高精度な倍率補正にきめ細かく対応できるパターン描画装置の提供。【解決手段】基板上でスポット光を主走査方向に走査する複数の描画ユニットの各々によって基板上にパターンを描画するパターン描画装置は、スポット光となるビームLB1〜6を射出する光源装置と、複数の描画ユニットの各々に対応して設けられ光源装置からのビームLBを順番に透過するように配置すると共に駆動信号の印加...

    パターン描画装置

  15. 【課題】物体を高速、高精度で位置制御でき、かつ小型、軽量のステージ装置を提供する。【解決手段】基板ステージ装置は、基板Pを非接触支持するエア浮上装置70と、エア浮上装置70により非接触支持された基板Pを保持する基板支持部材60と、基板支持部材60をエア浮上装置70に対して第1方向へ相対移動させる第1駆動部と、第1駆動部を支持した状態で、基板支持部材60とエア浮上装置7...

    移動体装置及び露光装置

  16. 【課題】露光ステーションにおいて基板を保持するステージを高精度で駆動する。【解決手段】制御系は、露光動作の一部において、スケール板21の4つの部分211、212、213、214に、ステージWST1上に設けられたエンコーダシステムの4つのヘッド601、602、603、604がそれぞれ計測ビームを照射する領域A0において、4つのヘッド601〜604の出力に基づいて、XY平...

    露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法

  17. 【課題】位置制御性の向上した基板ステージ装置を提供する。【解決手段】 基板ステージ装置20は、X軸及びY軸を含む平面内に沿って移動可能な基板ホルダ34と、Y軸方向に沿って基板ホルダに同期して移動可能なヘッドユニット60と、スケール52が基板ホルダに設けられるとともにヘッド66x、66yがヘッドユニットに設けられ、上記ヘッドの出力に基づいてX軸及びY軸方向に関する基板...

    移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び移動体駆動方法

  18. 【課題】 光学部材の交換を伴うことなく、瞳強度分布の形状および偏光状態の変更に関して高い自由度を有する照明光学系。【解決手段】 照明光で物体を照明する照明光学系は、物体が配置される所定面と実質的に光学的なフーリエ変換の関係となる瞳面又はその近傍に後側焦点面が配置されるフライアイレンズと、フライアイレンズに対してその入射側に配置され、複数のミラー要素を有する空間光変...

    照明光学系、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法

  19. 【課題】支持対象物から設置面への振動の伝搬を効率よく抑制する。【解決手段】 定盤22を支持する支持装置30は、筐体32と、前記筐体32内に設けられ、前記定盤22が−Z側に移動して前記筐体32の蓋体32bを押圧した場合に、前記蓋体32bに対して+Z方向の力を作用させるカウンタマス用モータ44と、前記筐体32に設けられ、前記カウンタマス用モータ44が前記+Z方向の力を前...

    支持装置、移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法

  20. 【課題】 投影光学系の下に液浸領域を維持した状態で、ステージ同士の干渉を回避しつつ、計測ステージが投影光学系に対向する状態からウエハステージが投影光学系に対向する状態に遷移させる。【解決手段】 コントローラは、投影光学系PLと対向して配置される計測ステージMSTに対してY軸方向の一側(−Y側)からウエハステージWSTを接近させるために、両ステージ(WST、MST)...

    露光装置及び露光方法、並びに半導体デバイス製造方法

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