設置方位 に関する公開一覧

設置方位」に該当した技術の詳細情報一覧です。あらゆる文献や技術を元に、価値のある「設置方位」の詳細情報や、「設置方位」を活用可能な分野・領域の探索など、目的にあった情報を見つける事ができます。 「設置方位」の意味・用法はこちら

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  1. 【課題】基板の伸縮を抑制し、処理の精度を向上させる基板処理装置及びデバイス製造方法を提供する。【解決手段】基板処理装置は、進入位置と離脱位置との間の特定位置で、回転ドラムの外周面に支持された前記基板の表面に所定の処理を施す処理装置と、回転ドラムの外周面を第1の温度に調整する第1の温度調節装置と、基板の搬送方向に関して進入位置の上流側に位置する基板を、第1の温度と異なる...

    基板処理装置及びデバイス製造方法

  2. 【課題】搬送中のシート状の媒体(基板)上に連続して描画を行うにあたって、基板の搬送中に読み取り装置とドラムとの相対的な位置関係の誤差を検出すること。【解決手段】露光装置EXは、処理部11と、マーク検出部、スケール計測部と、横ずれ検出部と、回転ドラムの複数回の回転に伴って、基準パターンがマーク検出部の検出領域内に現れる度に、マーク検出部によって検出される基準パターンの位...

    パターン形成装置

  3. 【課題】複数の描画ユニットを使って、基板の幅方向にパターンを継ぎ合わせて露光(描画)した場合でも、パターン同士の継ぎ誤差を低減し、基板に大きな面積のパターンを高精度に安定して描画する基板処理装置の調整方法、及び基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置の調整方法は、複数の描画ユニットの各々によって形成される描画ライン上に、基準マークがもたらされるように、支持部材...

    基板処理装置の調整方法、及び基板処理装置

  4. 【課題】1つの描画ユニットが描画ラインに沿ってパターンを描画する際の描画精度(露光量の均一性等)や忠実度を高める基板処理方法を提供する。【解決手段】基板処理方法は、パルス光源装置から周波数Fzでパルス発振される紫外波長域のビームを、シート基板の表面でスポット光に集光させると共に、ビームを光走査器によって振ることによって、スポット光を長尺の方向と交差した幅方向に延びる長...

    基板処理方法

  5. 【課題】多様化する電気料金プランに対応して電気料金を抑制することができる充放電制御装置、充放電制御方法及びプログラムを提供する。【解決手段】発電装置13が発電した発電電力、及び、系統200からの系統電力を充電するための蓄電池14の充放電を制御する充放電制御装置であって、所定の期間における、系統電力の買電単価と売電単価との間の大小関係、並びに、需要家における電力需要の予...

    充放電制御装置、充放電制御方法及びプログラム

  6. 【課題】搬送中のシート状の媒体(基板)上に連続して描画を行うにあたって、アライメントを行いながら描画すること。【解決手段】基板上の被処理領域に付随して設けられる複数のマークうち、被処理領域の長尺方向の先行部分に付随したマークに関する第1の位置情報がマーク検出部によって検出されると、被処理領域の先行部分の描画位置を特定し、引き続き被処理領域の長尺方向の後続部分に付随した...

    露光装置、及びデバイス製造方法

  7. 【解決手段】可撓性を有する長尺のシート基板Pを長尺方向に送る搬送部12と、シート基板Pに電子デバイスのパターンを形成する為の所定の処理を施す処理部14とを備えた基板処理装置10の性能をテストする基板処理装置10の性能確認方法は、搬送部12と処理部14とにシート基板Pが通された状態で、搬送部12による搬送方向に関して所定の長さを有する可撓性のテスト用シート基板TFを処理...

    基板処理装置の性能確認方法

  8. 【課題・解決手段】ミラー特性と表示特性を同一領域で実現し、且つ反射率と透過率の合計を従来よりも高められる鏡面表示装置および光反射透過型部材を提供する。光学薄膜を有する支持体、広帯域選択反射フィルムおよび表示装置をこの順で備える鏡面表示装置であって、前記光学薄膜は、前記支持体の前記広帯域選択反射フィルムに向かい合う面に形成されており、前記広帯域選択反射フィルムは、右回り...

    鏡面表示装置および光反射透過部材

  9. 【課題】複数の太陽光発電システムについて各々の日射量の計測を行うことなく、かつ診断精度が低下する可能性を防ぐことができる電力算出方法、診断方法、電力算出システム及びプログラムを提供する。【解決手段】電力算出方法は、第1計測ステップ、第2計測ステップ、第1演算ステップ、第2演算ステップ及び第3演算ステップを含む。第1計測ステップは、第1太陽光発電システム10の発電電力を...

    電力算出方法、診断方法、電力算出システム及びプログラム

  10. 【課題】コントローラで遮蔽装置を直観的に操作することの可能な遮蔽装置制御システム及びコンピュータプログラムを提供する。【解決手段】ブラインド制御システム10は、電動のブラインド100と、ブラインド100との間で通信を行いブラインド100を制御するコントローラ200とからなる。コントローラ200は、所定時間内における自己の姿勢又は位置の少なくともいずれかの変化に関する自...

    遮蔽装置制御システム及びコンピュータプログラム

  11. 【課題】演算負荷を抑制しつつ、精度よく円筒部材の位置を捉えて、円筒部材の曲面にある被処理物体に処理を施すことができる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置は、回転ドラムの外周面のうちで、シート基板が外周面に接触し始める進入領域と外周面から外れる離脱領域との間に設定される第1の特定位置において、シート基板にパターンを形成するパターン形成部と、回転ドラムの中心線...

    基板処理装置

  12. 【課題】位置に応じて、長周期地震動の発生を警告する。【解決手段】1以上の機器と接続され、長周期地震動の発生を示す警告を前記機器に出力させる地震動警告装置であって、機器観測データと、基礎特性データと、地震情報データとに基づいて、分析データを作成する分析手段と、地震速報データを前記地震情報提供サーバから受信すると、前記分析データと、前記地震速報データとに基づいて、予測結果...

    地震動警告装置、地震動警告システム及び地震動警告方法

  13. 【課題】高精度な倍率補正にきめ細かく対応できるパターン描画装置の提供。【解決手段】基板上でスポット光を主走査方向に走査する複数の描画ユニットの各々によって基板上にパターンを描画するパターン描画装置は、スポット光となるビームLB1〜6を射出する光源装置と、複数の描画ユニットの各々に対応して設けられ光源装置からのビームLBを順番に透過するように配置すると共に駆動信号の印加...

    パターン描画装置

  14. 【課題】円筒部材の周方向における位置を検出するにあたって、位置検出用の目盛に発生した誤差を補正する。【解決手段】目盛と対向して配置されて、目盛を読み取る第1読み取り部と、目盛と対向し、かつ円筒部材の周方向において第1読み取り部とは異なる角度位置に配置されて、目盛を読み取る第2読み取り部と、目盛の読み取り値との差分を、スケール部が360度の約数とならない所定の回転角度α...

    シート基板の搬送装置

  15. 【課題】基板の伸縮を抑制し、処理の精度を向上させる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置は、フレキシブルな長尺の基板上に電子デバイスを構成する為のパターンを形成する。基板処理装置は、基板の長尺方向の一部を支持する支持面を有し、基板を長尺方向に所定速度で連続して搬送する基板支持部材と、基板支持部材の支持面に支持される基板にパターンを形成する処理装置と、基板支持...

    基板処理装置

  16. 【課題】トルクが所定の値に達する時にトリップするためのトリップ機構を備えるトルクスリーブ構造を提供する。【解決手段】トルクスリーブ構造は、トリップ機構によって連動される伝動部材及び伝動軸を含む伝動モジュールを備え、且つ伝動軸がトルクを伝達するか否かを切り替えるように伝動部材とトリップ機構とが互いに協働し、これによって、自動トルクトリップが実現される。

    トルクスリーブ構造

  17. 【課題】搬送装置の速度誤差(または位置誤差)が生じた場合でも対応できるパターン描画装置を提供する。【解決手段】描画データに基づいて、変調器によって強度変調されたスポット光を被露光体上で相対的に2次元走査して、被露光体上に描画データに対応したパターンを描画するパターン描画装置であって、描画データを、主走査方向に沿った方向を行とし、主走査方向と交差した副走査方向に沿った方...

    パターン描画装置およびパターン描画方法

  18. 【課題】原点センサの位置ずれによる原点信号の発生タイミングのずれを検出し、走査開始タイミングを調整することができるビーム走査装置を提供する。【解決手段】光源装置からのビームのスポット光を基板の被照射面に投射しつつ、スポット光を被照射面上で1次元に走査するビーム走査装置であって、ビームを1次元の走査のために偏向する複数の反射面RPを有するポリゴンミラーPMと、ポリゴンミ...

    ビーム走査装置、ビーム走査方法、およびパターン描画装置

  19. 【課題】シート基板上に良好な配列状態で画像(パターン)を露光する。【解決手段】露光装置EXは、基板を搬送する回転ドラムとともに回転するスケール部に形成された目盛を読み取るエンコーダと、読み取られた目盛を移動量を計数するとともに、回転ドラムの1回転毎にカウント値CD2をリセットするエンコーダカウンタECN2と、回転ドラムの1回転分に対応してエンコーダカウンタECN2がカ...

    デバイス形成装置、パターン形成装置、デバイス形成方法、およびパターン形成方法

  20. 【課題】 個々のPVモジュールの発電状態を把握可能な発電データを収集することを可能にする発電データ収集システムを提供する。【解決手段】 発電データ収集システム1は、少なくとも1つの光発電素子をパッケージ化して構成されるPVモジュールMが発電した直流電力を交流電力に変換するマイクロインバータAに付随して設けられ直流電力を測定することで得られる発電情報を含む発電データ...

    発電データ収集システム及び太陽光発電装置

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