成膜 に関する公開一覧

成膜」に該当した技術の詳細情報一覧です。あらゆる文献や技術を元に、価値のある「成膜」の詳細情報や、「成膜」を活用可能な分野・領域の探索など、目的にあった情報を見つける事ができます。 「成膜」の意味・用法はこちら

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  1. 【課題】CVD法における成膜温度の低減および膜質の向上に貢献する技術を提供する。【解決手段】酸化膜形成装置1において、被成膜基体10を出し入れ自在に収容可能なチャンバ2と、当該チャンバ2内に収容された被成膜基体10の被成膜面10aと対向する位置に備えられたガス供給部3と、当該チャンバ2内のガスを吸気して当該チャンバ2外に排出するガス排出部4と、を備える。ガス供給部3は...

    酸化膜形成装置

  2. 【課題】樹脂組成物の塗布性を向上し、かつ塗膜に付着する異物を低減するポリイミドフィルムとポリイミド前駆体樹脂組成物を提供する。【解決手段】式(1)、(2)の構造単位を含むポリイミド前駆体と、式(3−1)、(3−2)のうち一方の化合物と、任意に式(4)の化合物と;溶媒とを含む組成物であり、溶媒が、アセチル系溶媒、エーテル系溶媒、アミド系溶媒及びジメチルスルホキシドから選択される。

    ポリイミド前駆体樹脂組成物

  3. 【課題】センサシートの全体を接着しつつ、クロストークを回避できる圧力センサを提供する。【解決手段】第1面と、第1面と反対側の第2面と、を有するセンサシートと、第1面と対向する基板と、基板とセンサシートとの間に介在する、異方性導電材料の第1接着層と、基板と第1接着層との間に介在し、互いに離隔する複数のアレイ電極と、を備え、センサシートの第1面は、第1接着層と接着し、第1...

    圧力センサ

  4. 【課題】β−ジケトンであるガスを用いて基板に形成された金属膜をエッチングするにあたり、当該基板の金属汚染を防ぐこと【解決手段】内部が排気されて真空雰囲気が形成されると共に、アルミニウムと添加金属とからなる合金を母材とする壁部を備える処理容器と、前記処理容器内に設けられた、表面に金属膜が形成された基板を載置するステージと、前記金属膜を酸化する酸化ガスと、β−ジケトンであ...

    エッチング装置及びエッチング方法

  5. 【課題】基板に付着する水分を低減する。【解決手段】プロセスチャンバとロードロック室との間に配置され、プロセスチャンバとロードロック室との間で基板を搬送する真空搬送装置であって、容器と、搬送装置と、排気装置と、露点計と、制御装置とを備える。容器は、ゲートバルブを介してプロセスチャンバおよびロードロック室のそれぞれに接続されている。搬送装置は、容器内に設けられ、プロセスチ...

    真空搬送装置および真空搬送装置の制御方法

  6. 【課題】ALDプロセスにおける1サイクル中の多層成膜を抑制できる金属酸化物膜の形成方法及び成膜装置を提供する。【解決手段】金属酸化物膜の形成方法は、基板を収容した処理容器内に金属錯体を含む前駆体ガスを供給することにより、基板に前駆体層を形成する工程S1と、処理容器内に酸化ガスを供給することにより、前駆体層を酸化して金属酸化物層を形成する工程であって、酸化ガスがH2Oを...

    金属酸化物膜の形成方法及び成膜装置

  7. 【課題】凹部にコンフォーマルな金属酸化物膜を形成できる技術を提供する。【解決手段】本開示の一態様による金属酸化物膜の形成方法は、基板に形成された凹部に、アルコール類及びアミン類を除く複素環式化合物を含む阻害剤を吸着させる工程と、前記阻害剤が吸着した前記凹部に金属錯体を含む前駆体ガスを供給することにより、前記基板に前駆体層を形成する工程と、前記前駆体層が形成された前記凹...

    金属酸化物膜の形成方法及び成膜装置

  8. 【課題】円偏光板として良好な偏光性を有する円偏光板、その製造方法、このような円偏光板の製造に用いることができる樹脂層形成用組成物、及び上記円偏光板を備える表示装置を提供する。【解決手段】本発明は、第1の液晶化合物及び水を含む位相差層形成用組成物から形成される位相差層と、第2の液晶化合物及び水を含む偏光層形成用組成物から形成される偏光層とを有する円偏光板であって、上記位...

    円偏光板、その製造方法、樹脂層形成用組成物及び表示装置

  9. 【課題】高い不揮発性とイオン伝導性とを兼ね備えた非水電解液、これを含む半固体電解質、これを用いた二次電池を提供する。【解決手段】電解質塩と電解質塩を溶解した非水溶媒を含み、電解質塩は、イミド系リチウム塩と、非イミド系リチウム塩と、であり、非水溶媒は、グライムと、炭酸エステルと、を含有し、グライムは、トリグライム、および、テトラグライムのうちの一種以上である非水電解液、...

    非水電解液、半固体電解質、二次電池

  10. 技術 保持装置

    【課題】シール部材による接触面積を小さくすることなく、熱引きを低減する。【解決手段】本開示の保持装置は、ヒータ部材20と、ベース部材50と、ヒータ部材20とベース部材50を接合するボンド材70と、ボンド材70に隣り合う配置でヒータ部材20とベース部材50との間をシールする環状のシール部材60と、を備える、保持装置であって、シール部材60は、ボンド材70と離間して配置さ...

    保持装置

  11. 【課題】薬液吐出装置のノズルから薬液が吐出されているかを効果的に判定することができる薬液滴下装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、薬液滴下装置は、装着部と、載置部と、制御部と、を備える。装着部は、アクチュエータの動作によって2つ以上のノズルから同時に薬液を吐出する薬液吐出装置が装着される。載置部は、薬液が吐出される検査媒体が載置される。制御部は、同時に薬液を吐...

    薬液滴下装置

  12. 【課題】燃料電池用の防錆プレートを十分な防錆性能や製造コストで実現できる技術を提供する。【解決手段】燃料電池スタックにおいて、セパレータと、ターミナルとの間に配置される防錆プレートであって、チタン製の基材と、前記基材の表面のうち、燃料電池スタックにおいて冷却水に接触する領域の、少なくとも一部に設けられた酸化亜鉛膜と、を有し、前記酸化亜鉛膜の展開面積比が、0.05から0...

    防錆プレート

  13. 【課題】定着装置の暖機運転時間の短縮と繰り返し屈曲による第2の金属層の割れの抑制とが両立される定着部材の提供。【解決手段】樹脂を含む基材層と、前記基材層の外周面上に設けられ、Cuを含む第1の金属層と、前記第1の金属層の外周面上に前記第1の金属層と接して設けられ、Niを含む第2の金属層であって、前記第2の金属層における各結晶面の結晶配向指数は、(111)面が0.80以上...

    定着部材、定着装置、及び画像形成装置

  14. 【課題】定着装置の暖機運転時間の短縮と繰り返し屈曲による第2の金属層の割れの抑制とが両立される定着部材の提供。【解決手段】樹脂を含む基材層と、前記基材層の外周面上に設けられ、Cuを含む第1の金属層と、前記第1の金属層の外周面上に前記第1の金属層と接して設けられ、Niを含む第2の金属層であって、前記第2の金属層の平均結晶粒径が0.15μm以上0.19μm以下である第2の...

    定着部材、定着装置、及び画像形成装置

  15. 【課題】高い感度を維持したまま、素子単体でノイズを低減することができる磁気センサを提供する。【解決手段】磁気抵抗効果素子が、磁化方向が固定されている固定層11と、磁化方向が変化可能な自由層12と、固定層11と自由層12との間に配置された非磁性結合層13とを有している。自由層12は、磁化方向が変化可能な複数の磁性層21と、非磁性体から成る1または複数の挿入層22とを有し...

    磁気センサ

  16. 【課題】膜の厚みの均一化を図ることができる処理システム、処理方法、および処理プログラムを提供する。【解決手段】処理システム1は、内部に処理物を収納可能なチャンバ2と、前記チャンバの内部に、複数の粒子101とガス102とを供給可能な供給部4と、前記処理物の近傍における気流の状態を検出可能な検出部5と、前記検出部からの検出値に基づいて、前記供給部を制御可能なコントローラ6...

    処理システム、処理方法、および処理プログラム

  17. 【課題】基板とマスクをアライメントした後に基板とマスクを密着させる際に、基板保持機構とマスク保持機構の相対的な姿勢変化に対応するための技術を提供する。【解決手段】基板を支持する基板保持手段と、基板と略平行にマスクを支持するマスク保持手段と、基板保持手段とマスク保持手段の少なくとも一方を移動させて、平面内の基板とマスクの相対的な位置関係を変化させる面内移動手段と、基板保...

    成膜装置および成膜方法、情報取得装置、アライメント方法、ならびに電子デバイスの製造装置および製造方法

  18. 【課題】十分な防錆性能を実現できる防錆プレートの技術の提供。【解決手段】燃料電池スタックにおいて、セパレータと、ターミナルとの間に配置される防錆プレートであって、チタン製の基材と、基材の表面のうち、燃料電池スタックにおいて冷却水に接触する領域の、少なくとも一部に設けられたルテニウムめっき部と、を有し、ルテニウムめっき部の展開面積比が、0.23から0.43である。

    防錆プレート

  19. 【課題】充放電効率が高い全固体電池の提供。【解決手段】負極の反応として金属リチウムの析出−溶解反応を利用した全固体電池100であって、負極集電体11、繊維状炭素材料と樹脂を含むLi吸蔵層15、リチウムと合金化が可能な金属Mを含む金属M層16、固体電解質層12、及び、正極層13をこの順に有する全固体電池100。

    全固体電池

  20. 【課題】複数のアンテナを備える素子において、より効率のよいテラヘルツ波の発生または検出を実現する。【解決手段】素子は、テラヘルツ波の利得を有する半導体層を有するアンテナが複数設けられたアンテナアレイを備え、前記アンテナアレイにおける隣接するアンテナを前記テラヘルツ波の周波数で相互に同期するカップリングラインを有し、前記カップリングラインは、前記隣接するアンテナの半導体...

    素子、素子の製造方法

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